第290章 你们的硼，不干净
半导体研究所，晶体生长实验室。
“顾总工，导热均衡层装上之后，连跑了几炉。”
吴建华把数据纸往她面前一递，声音里压着股劲儿。
“边缘微裂纹消失了，晶圆全过了外观检查。”
顾昭昭接过数据纸，站在走廊里就翻。
吴建华在旁边搓着手，跟等判卷的学生一个样。
翻到第二页，目光在一列数字上停了两秒。
翻到第三页，手指点在“位错密度”那一栏。
“平均位错密度多少？”
“三乘以十的三次方！”
吴建华脱口而出。
“比之前又降了半个数量级！”
顾昭昭没接话。
翻到最后一页——霍尔效应测试结果。
载流子迁移率。
数字列在纸上，黑白分明。
她盯了三秒，合上数据纸。
“吴所长，迁移率不达标。”
吴建华的笑容凝在脸上。
“你自己看。”
顾昭昭把数据纸翻回最后一页，指尖点在第四列。
“平均载流子迁移率，四千二百。军品级T/R组件的衬底要求，不低于五千。”
吴建华一把抢过数据纸，眼镜差点从鼻梁上滑下来。
“差了八百……”
“差了百分之十六。”
顾昭昭纠正他。
“位错密度达标了，但迁移率上不去，说明问题不在晶体结构。”
她推开实验室的铁门，直接走到液封直拉炉旁边。
“废片在哪？”
老周端过铝托盘。
三片切好的废片搁在上面。
顾昭昭拿起一片，没去用显微镜，直接对着头顶的白炽灯管调整角度。
晶片表面泛起金属光泽。
“不是炉子的问题。”
她把晶片搁回托盘。
“是材料。”
吴建华站在旁边，温彻和两个研究员也凑了过来。
温彻背着军用挎包，掏出笔记本，笔帽一拧。
“液封直拉法，除了砷和镓，还有什么？”
顾昭昭抬头问。
吴建华反应过来了：“三氧化二硼液封剂？”
“你们的硼，哪儿来的？”
“京市化学试剂厂，分析纯级别，纯度标称99.98%。”
顾昭昭蹲下去，看了一眼炉体侧面的密封段。站起来。
“不够。”
吴建华皱眉。
“99.98%还不够？这已经是国内最高等级的分析纯了——”
“分析纯的标称是总体金属杂质含量。”
顾昭昭打断他，走到工作台前，拿起一支粉笔，在旁边的小黑板上写了三个字。
“硅、碳、铁。”
“这三种痕量杂质只要有任何一个超标，在上千度高温下就会扩散进砷化镓熔体。”
她又在黑板上画了个坩埚截面简图，三笔勾完。
吴建华盯着黑板，两只手插进裤兜又抽出来。
“我搞了三十年半导体，一直用分析纯的硼，从没人提过这个。”
“因为以前拉两英寸的，晶体小，生长时间短，杂质效应被掩盖了。”
顾昭昭看着他。
“三英寸，高温保持时间更久，杂质有足够的时间往晶格里钻。”
“尺寸一大，所有以前可以忽略的细节全变成瓶颈。”
吴建华沉默了十来秒。
“那怎么办？国内有没有更高纯度的？”
“没有，京市化学试剂厂的分析纯已经是天花板。进口渠道堵死了。”
“所以——”
“自己提纯。”
顾昭昭从帆布包里掏出笔记本，翻到标记好的一页，拍在工作台上。
“区域精炼法。”
页面上画着工艺流程图，环节标注了具体数字。
“五个九——99.999%？”
老周脱口而出。
“对。”
吴建华看完流程图，抬起头。
“上回坩埚热场，给了参数我让人直接改，三天搞定。但这个区域精炼——我手底下没人干过。”
顾昭昭把笔记本合上。
“所以我来了。”
吴建华愣住。
“我亲自做第一炉，你们的人在旁边看，看明白了，后面自己跑。”
“你——做？”
“有问题？”
“没——没问题。”
吴建华赶紧摇头，转身对着实验室吼了一嗓子。
“老周！石英舟找出来！加热线圈备件有没有？”
“有！”
“全搬到三号操作间去！快！”
……
半小时后。
三号操作间。
石英舟架好，环形加热线圈套在外面，硼棒料装好。
顾昭昭洗了手，袖子挽到小臂，站在操作台前，动作极其老练。
温彻守在右后方，笔记本摊开。
吴建华带了四个学生来观摩。
最年轻的姓何，研二，到课题组不到半年，挤在老周身后伸长脖子。
另一个短发男生压低声音：“这谁啊？看着比我还小，怎么老吴跟个徒弟似的在旁边站着？”
“闭嘴看。”
老周回头斥了一句。
顾昭昭打开加热电源。
温控表数字跳动。
“升温，恒温稳定五分钟后启动移动机构。”
五分钟后。
“启动。”
她拨动开关，加热线圈沿着石英舟缓缓移动。
“注意看熔区边界。固液界面要保持平整，出现凸起或凹陷，说明温度梯度有偏差，马上修正。”
何同学踮脚看了半天，小声问：“界面怎么判断？”
“看棒料表面光泽变化。”
顾昭昭头都没回。
“熔化部分透明，凝固部分半透明。分界线清不清楚，一眼就能看出来。”
何同学闭上了嘴。
加热线圈走到棒料中段，顾昭昭忽然伸手把移动速度微调了一格。
“这里棒料截面直径稍大了零点几毫米，热量分布会偏。速度降一点，让熔区充分覆盖。”
吴建华站在旁边，两只手背在身后，忍了四十分钟才开口。
“棒料差零点几毫米，你肉眼怎么看出来的？”
“不是肉眼。是熔区边界的亮度变化。截面大了，单位面积受热少，界面会微微发暗。”
温彻在笔记本上飞速写下：“中段位置，因棒料截面微小差异，移速降低补偿。”
吴建华不说话了。
第一遍结束。顾昭昭切掉末端杂质富集段，重新装舟。
第二遍、第三遍，同样步骤，不同位置做了不同微调。温彻每一个数字一个不漏全部记下。
第三遍结束。
棒料从灰白色变成了近乎透明。
顾昭昭摘下手套。
“取样检测。”
老周捧着样品跑向检测室。
二十分钟后，老周跑回来，手里捏着光谱分析报告。
“硅——低于百万分之零点三！碳——低于百万分之零点五！铁——未检出！”
“总纯度——99.9993%！”
老周的声音都劈了岔。
吴建华一把抢过报告看了三遍。
五个九，还多出来一点。
他把报告放下，看向顾昭昭。
“下一炉砷化镓，用这批硼做液封，迁移率——”
“跑完就知道。”
顾昭昭拎起帆布包。
何同学站在后面，嘴巴微张，手里的笔记本翻到空白页，一个字都没写——整个人看傻了。
其余几个研究生全是这副模样。
平时做区熔，调速全凭经验和书本上的死公式。
这位不翻书，不用计算器，脑子里直接调出最优解，连棒料截面零点几毫米的差异都能从亮度读出来。
吴建华跟到水槽边。
顾昭昭拧开水龙头洗手，温彻递过来一条干净毛巾。
她擦干手，把毛巾搁在一旁。
吴建华从兜里掏出一盒烟，没点，想起一件事。
“对了，顾总工，有件小事跟你提一嘴。水木大学有个叫陈维明的教授，十月份有个华美材料科学研讨会，他在筹备组。”
“前几天打了好几通电话，非要拉我们所派人去参加，说美方有重量级学者来，想让咱们拿点成果出去交流交流。”
温彻在旁边抬起头。
任何主动靠上来的接触，在他耳朵里都带着警报声。
“你答应了？”
顾昭昭问。
“答应个屁。”
吴建华哼了一声。
“我跟老陈说工期紧，技术总负责人脾气大得很，我不敢触霉头。”
“推干净就行。”
顾昭昭背上帆布包往门外走。
“陈维明”这三个字在她脑子里连半秒都没停留。
温彻落后两步，面上不动声色，把这个名字牢牢记在脑子里。
回去得立刻把这个名字报给江队。
“温彻，参数笔记整理三份，今晚之前交给吴所长。”
“是！”
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