第821章 谋划出路
短暂的兴奋过后，肖光楠的表情再次变得凝重起来。
他的激光笔，指向了一大片密密麻麻，标注着“Deposition”的区域。
“马总，接下来这个，才是我们目前另一个十分薄弱的环节——薄膜沉积。”
“晶圆生产，就像在指甲盖大小的芯片上盖无数层高楼。光刻机是画图纸的，蚀刻机是雕刻的，而薄膜沉积，就是铺设每一层‘楼板’和‘墙体’的。”肖光楠解释道。
“我们的28纳米工艺，需要超过50道薄膜沉积工序。而我们正在攻关的14纳米，因为结构更复杂，需要用到双重曝光，这个数字会暴增到80道以上！”
他进一步介绍道。
“这主要分为CVD（化学气相沉积）、PVD（物理气相沉积）和ALD（原子层沉积）三大类。国内在CVD上，总算有了一些突破。两年前，在国家半导体大基金的支持下，拓晶科技成功研制出了国产第一台12英寸PECVD设备，并且在我们和东芯国际的产线上完成了验证，性能稳定。这是我们为数不多的亮点。”
话锋一转，他的语气充满了忧虑。
“但是，在更关键的PVD和ALD设备上，我们国内几乎是空白！全球市场被花旗国的应用材料公司和泛林集团牢牢把控着，两家加起来就占了超过一半的份额。一旦他们下死手，我们这条14纳米产线，随时可能因为缺少某一道关键薄膜而全线停摆！那就是真正的空中楼阁！”
死一般的寂静。
如果说光刻机是卡脖子，那薄膜沉积设备，就是断了全身的筋脉。
马宇腾死死地盯着白板上那片被标为深红色的PVD和ALD区域，大脑飞速运转。
突然，他开口问道：“制裁令目前只针对花旗国技术，暂时没有强制要求他们的盟友跟进，对吧？”
肖光楠一愣，随即答道。
“是的，目前脚盘国和欧罗巴的企业除ASML外还没有收到强制禁令，但谁也说不准他们什么时候会跟进施压……”
“那就够了！”马宇腾猛地一拍桌子，打断了肖光楠的话。
“时间差！这就是我们的机会！”他站起身，语气斩钉截铁地命令道。
“老肖，你立刻联系东京电子，不惜一切代价，和他们签署深度合作协议！先把他们现有的先进PVD和ALD设备都搬回来，并争取签订未来三到五年的供货协议，尽量锁定货源！”
“记住，一定要快，即使加价也在所不惜！必须在花旗国政府反应过来之前，把货拉回来！”
马宇腾的这个指令，让肖光楠眼前一亮。
没错，花旗国是霸道，但它的盟友体系并非铁板一块。
只要禁令没有形成法律效力的强制文件下达到脚盘国和欧罗巴的企业，那一切就还有操作的空间！
“我明白了，马总！”肖光楠的腰杆瞬间挺直，一夜未眠的疲惫似乎都被这剂强心针驱散了。
“我马上组建团队，今天就出发！就算把东京电子的门槛踏破，我也要把他们的设备搬回来！”
会议室里其他技术骨干也个个面露喜色，压抑的气氛一扫而空。
然而，就在所有人都以为找到了救命稻草时，肖光楠脸上的兴奋却又缓缓褪去，取而代之的是一种更深层次的忧虑。
他犹豫了一下，还是开口说道：“马总，您的决策非常及时。但是……除了设备外，我们还需要提前关注生产过程中必不可少的原材料。毕竟作为耗材不像设备那样，小心点能够使用几年乃至十多年时间。”
马宇腾的目光从白板上移开，重新落回肖光楠身上，示意他继续。
肖光楠拿起另一支红色的记号笔，在白板的另一侧写下了三个词：硅片、光刻胶、封装基板。
“首先是硅片，这是芯片的‘地基’。我们目前14纳米产线所用的300mm（12英寸）大硅片，几乎全部依赖进口，主要来自脚盘国的信越化学和胜高，两家就占了全球一半以上的市场。”
他顿了顿，补充道：“好消息是，张如晶博士成立的新生半导体，据说已经在300mm硅片技术上取得了突破，只是距离稳定量产，恐怕还需要一两年时间。我们可以通过提前囤积材料等待国产替代。”
马宇腾点了点头，示意自己知道了。
张如晶是他的老朋友了，没想到他在半导体行业的第三次创业同样做出了这样出色的成绩。
“其次是光刻胶。”肖光楠继续道。
“高端光刻胶市场，同样是脚盘国的天下。JSR、东京应化、信越化学三家加起来，占据了ArF和EUV光刻胶市场的绝对主导地位。我们在这方面虽然也有半导体大基金支持的几家企业在奋力追赶，但性能和稳定性上还有不小的差距，暂时无法完全替代。”
会议室里刚刚活跃起来的气氛，随着肖光楠的讲述，再次变得沉重。
所有人都意识到，芯片制造是一个环环相扣的精密系统，任何一个环节的缺失，都足以让整条产线瘫痪。
“那第三个呢？封装基板有什么问题？”马宇腾沉声问道。
肖光楠深吸了一口气，表情前所未有的严肃。
他用红笔，在“封装基板”四个字下面，重重地画了一个圈，然后写下了三个英文字母：ABF。
“马总，如果说硅片和光刻胶，我们是被人卡着脖子，至少还能喘口气，还能看到追赶的目标。那么在这个东西上，我们是直接被人按住了心脏，连挣扎的机会都没有。”
“这种材料叫ABF膜，是高端芯片封装过程中，用于制造增层基板的核心绝缘材料。没有它，我们造出来的裸晶（Die）就无法封装成完整的芯片。”
肖光楠的激光笔指向那个名字，声音干涩地揭示了一个让马宇腾都感到难以置信的事实。
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